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OFweek电子工程网讯:测试设备代理厂蔚华科于中国独家代理的测试设备厂DCG Systems于30日正式宣布收购测试探针厂MultiProbe,两家公司将整合产品线推出更完整的纳米探针系统,支援国际半导体大厂用于10纳米级器件的开发和良率提升。受惠于该并购案,蔚华科可望针对中国市场打造更完备的纳米探针产品组合。 蔚华科除了是DCG Systems中国独家代理商,也是拥有atg Luther Maelzer、Everett Charles Technologies、LTX-Credence、Multitest等四大半导体及电路板测试设备品牌的Xcerra控股的大中华区独家代理商。因此,红色供应链的崛起,蔚华科可说直接受惠。 MultiProbe的旗舰产品Hyperion利用原子力探针(AFP)技术,提供电晶体的电性分析和缺陷定位功能。MultiProbe系统还有一个PicoCurrent成像的模式,可以同时显示电晶体结构图和电导图。工程师因此能藉此够快速发现异常特征,再通过对电晶体扎针进一步分析。 DCG的旗舰纳米探针系统nProber II建立在扫描电子显微镜(SEM)平台上。和Hyperion一样,nProber II系统也提供电晶体的电性分析和缺陷定位功能。nProber II还可在EBC的模式下,将在表层和表层下导线的短路、开路及阻抗缺陷给定位。 根据一家同时使用Hyperion和nProber II的先进半导体厂商评论,为加快良率提升速度,我们广泛采用导电原子力显微术(CAFM)和PicoCurrent成像技术来为电晶体缺陷定位,以及采用EBC来为金属层缺陷定位。同时这两种纳米探针系统都用于我们的最先进工艺的电晶体电性分析。 Hyperion和nProber II纳米探针系统已被全球众多客户用于10纳米级器件的开发和良率提升。
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